了解麥鍇全系列產品
麥鍇科技擁有MEMS壓電微鏡的自主設計、制造工藝與封裝測試等全套核心技術,可以提供覆蓋激光通信、激光雷達、激光掃描等多應用場景的微鏡產品開發技術
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激光通信
麥鍇公司憑借自主研發的、國際領先的MEMS快速反射鏡技術,為我國空間激光通信網絡的建設提供了堅實的支撐。這款高性能的MEMS快速反射鏡,具備小型化、輕量化、低功耗、高精度和快速響應等卓越特性,成為了實現遠距離穩定激光通信鏈路的首選方案。
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激光雷達
麥鍇的大角度MEMS振鏡在激光雷達(Lidar)應用領域展現出了獨特的優勢。其體積小、速度快、角度大、功耗低和精度高等優點,使其成為Lidar系統提升性能和降低成本的理想選擇,實現了更快速、更準確的數據采集和點云圖像的生成,為無人駕駛、環境監測、地圖繪制等領域的應用提供了嶄新的解決方案。
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激光投影
麥鍇高頻MEMS微振鏡具備頻率高、功耗低、體積小、重量輕等優勢,基于李薩如掃描方式可以實現720P以上的顯示分辨率,可以在輕量級VR、AR、XR或者是微型投影儀上發揮關鍵部件的作用,是未來激光投影的主要技術路線之一。
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科學研究
麥鍇的大角度MEMS振鏡在激光雷達(Lidar)應用領域展現出了獨特的優勢。其體積小、速度快、角度大、功耗低和精度高等優點,使其成為Lidar系統提升性能和降低成本的理想選擇,實現了更快速、更準確的數據采集和點云圖像的生成,為無人駕駛、環境監測、地圖繪制等領域的應用提供了嶄新的解決方案。
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激光通信
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激光雷達
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激光投影
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科學研究
核心技術
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專業自主的MEMS結構設計
獨特的雙層堆疊MEMS架構,結合高效能隱藏式壓電致動器協同設計,構筑高頻高占空比的大口徑微鏡產品。
鏡面尺寸1~15mm,諧振頻率0.1~30 kHz
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獨有的面型修調技術
晶圓級納米尺度面型修調工藝,與多層復合薄膜應力控制技術相結合,開拓高徑厚比MEMS鏡面的高面型精度制備方法。
RMS面型≤20 nm@10mm
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先進的壓電驅動技術
先進的準單晶高摻雜壓電功能薄膜致動技術,協同二階上電驅動算法,實現準靜態模式下的高精度低延遲定位。
重復精度≤2 μrad@3σ,開環線性度≥99.9%,開環控制帶寬≥2 kHz
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高可靠協同設計
高穩定性單晶硅襯底,結合抗沖擊MEMS結構設計,以及高可靠性封裝,確保宇航級壽命及可靠性。
200余億次全量程加速壽命實驗無衰減
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